“津市蓝河科技历时四年攻克13.5nm光源系统设备, 项目通验收，已申请国家专利，并列入国家重大科学工程项目。我相信你都很感兴趣, 现在我从euv的靶材、光源的优化和设计以及碎屑处理系统等装置进行理阐明, 实验为辅的演讲。”

盛明安无视多少双眼睛盯着他看，镇定自若的按照他的计划进行演讲。

而他演讲的内容既言之有, 又不会真正暴露光源系统设备的核心技术。

底下窃窃私语：“真的是13.5nm光源系统？！”

“专利申请是真的！”、“列入国家重大科学工程项目，很可能和微电子科技合共同组装euv。”、“双工台完成, 如果蓝河科技关于13.5nmeuv的仿真建模……那么最迟明年, 我国就有euv了！”

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