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第99章 450mm晶圆片的价格

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对于拉晶炉,首先……要对副室进行充气,这里冲的是氩气,氩气是惰性气体,很难参加反应。

拍出副室里边的空气,然后对于其他的地方清理干净,比如副室炉筒、小副室、炉筒等等。

工人穿戴好防护服把坩埚装入石墨锅里边,进行装料,也就是多晶硅,进行封闭之后,进行抽空作业,随后冲氩气,这样反复几次,带走炉内的其他气体以及湿度。

缓慢加热,使得多晶硅均匀受热,使得多晶硅完全融化掉之后石英锅开始旋转起来,这时候子晶从商面降落下来,和锅的最中心液面相接触,在接触的一刹那子晶也开始反方向旋转起来。

在锅的下边是加热状态的,而在锅液面是加冷状态,这时候子晶和液面的接触点就会出现一个小小的光点。

随着子晶的慢慢旋转,并且不断上拉,再经过一系列的操作:放肩、转肩、正常拉棒、收尾等等。

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